FTS 高速工具サーボ
2011年07月14日
写真は旧型になります。
高速工具サーボＦＴＳは、超精密加工機のバイトホルダーに装着し、工具刃先の超精密・高速位置決めを行うことにより、従来の加工機では不可能であった形状の加工を可能とする装置です。
（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリー研究グループで独自開発されたものを、技術使用許諾を得て製造販売しています。
現在ＦＴＳはフラットパネルディスプレーに使用される、各種光学シートのロール金型加工に利用されています。このような加工に使用される超精密旋盤の刃物台にFTSを搭載することにより、刃先位置を任意に制御して従来の直線形状に加えて波状、球形状の加工を行うことが可能になります。また、応答帯域幅4kHzの高速駆動により、大型ワークの加工に対応します。
ＦＴＳのしくみ
仕様
| 駆動方式 | 圧電アクチュエーター |
| 制御方式 | 内蔵変位センサーによる変位フィードバック制御 |
| 最大変位 | ±5μm（DC）、±4μm（AC） |
| サーボ指令入力 | ±5V、アナログＤＣ |
| 応答帯域幅 | 4kHz (-3db) |
| 変位制御分解能 | 5nm（使用環境のノイズレベルに依存） |
| 本体外形寸法 | Φ35×124mm（工具含まず） |
| 適応工具 | アライドマテリアル製 NWD-PP2xx （他種にも変更可能 ） |
| 電源容量 | AC100V1500VA |
